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擴(kuò)散硅壓力傳感器裝置產(chǎn)品特點(diǎn)
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三部分由同一個(gè)元件實(shí)現(xiàn)，沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，彈性芯片zui大位移在亞微米數(shù)量級(jí)，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
6、由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。
擴(kuò)散硅壓力傳感器裝置是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
